日本 HORIBA 堀場 S49 33/MT 氣體質量流量控制器

2025-08-25 17:24

HORIBA 堀場 S49 33/MT 產品概述

HORIBA STEC S49 33/MT 是一款高性能氣體質量流量控制器，采用熱式傳感原理，專為精密工業氣體控制場景設計，具備穩定的流量調節性能和優異的環境適應能力。該系列產品由日本原裝制造，延續 HORIBA STEC 半個多世紀在流體控制領域的專業技術，廣泛應用于鍍膜、表面處理、配氣等高精度控制流程中。

S49 33/MT應用場景

  • 真空鍍膜：確保薄膜沉積過程中氣體比例精準控制，提高膜層均勻性與制程穩定性。

  • 表面處理：在等離子清洗、蝕刻等工藝中提供精確的氣體輸入，優化反應效果。

  • 配氣系統：適用于多氣體混合設備，保證各通道流量比例的一致性與響應速度。

S49 33/MT流量規格范圍

  • 小流量范圍（單位：mL/min）：5、10、30、50、100、200、300、500

  • 中大流量范圍（單位：L/min）：1、2、3、5、10、15、20、30

用戶可根據實際氣體種類與系統需求選擇對應規格型號，靈活匹配不同工藝參數。

HORIBA品牌技術優勢

HORIBA STEC 是全球知名的氣體流量控制專家，具備以下技術特性：

  • 熱式質量流量傳感器，響應快、線性好、重復性高

  • 高穩定性控制電路，抗干擾強、溫漂小

  • 堅固緊湊結構設計，適配多種安裝環境

  • 擁有豐富的氣體標定數據庫，適配氫氣、氮氣、氬氣、氦氣等多種氣體

推薦搭配使用

本產品可搭配 HORIBA 的 UR-Z700 壓力控制器或 S48/S49 系列 MFC 數字控制器共同使用，實現流量+壓力的閉環協同控制，滿足復雜工藝對高精度流量與動態響應的雙重要求。