HORIBA R600質(zhì)量流量控制器介紹

2025-08-24 17:57

日本HORIBA堀場推出的R600系列質(zhì)量流量控制器，是一款集成數(shù)字通信與模擬控制功能的氣體流量控制解決方案。該產(chǎn)品適用于各類對壓力、流量有精密調(diào)節(jié)需求的工業(yè)場景，可在多種制程條件下穩(wěn)定運行，具備良好的適應(yīng)能力與控制性能。

HORIBA R600 精細(xì)化背壓控制方式，適應(yīng)復(fù)雜工況

R600系列采用背壓控制方式（Back Pressure Control），可根據(jù)下游系統(tǒng)的流動狀態(tài)自動調(diào)節(jié)出口壓力，在需要恒定背壓的系統(tǒng)中發(fā)揮作用。該控制邏輯適合各類氣體輸送場景，提升了系統(tǒng)的整體穩(wěn)定性與可控性。

多種電信號接口，兼容性良好

R600系列同時支持模擬信號控制（0~5VDC）與數(shù)字通信協(xié)議（RS485/F-Net協(xié)議），使得用戶可以根據(jù)自身系統(tǒng)架構(gòu)靈活選配控制方式，適配自動化生產(chǎn)線或?qū)嶒炂脚_。同時支持±15V ±5%、200mA供電，亦可選配24VDC電源，適應(yīng)不同工廠環(huán)境的能源系統(tǒng)。

關(guān)鍵性能參數(shù)穩(wěn)定，注重細(xì)節(jié)工藝

該產(chǎn)品具有以下核心技術(shù)規(guī)格：

  • 適用介質(zhì)：氣體（Gas）

  • 壓力范圍：10~300kPa (A) F.S

  • 最大使用壓力：400kPa (A)

  • 閥門類型：電磁閥（常閉型）

  • CV值（流通能力）：0.016（5.5L/M）或0.022（7.5L/M）

  • 控制精度：±0.5% F.S

  • 溫度系數(shù)：±0.05% F.S/℃（良好穩(wěn)定性）

  • 流速響應(yīng)：1 × 10^-1 Pa·m³/s（He或更低）

該控制器內(nèi)部通道采用SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼材料制造，兼顧氣密性、耐腐蝕性與長期耐久性。部分管路接頭采用1/4 inch VCR 或 Swagelok標(biāo)準(zhǔn)接口，安裝維護便捷。

HORIBA R600 適用于多類氣體控制場景

R600質(zhì)量流量控制器可廣泛應(yīng)用于以下場景：

  • 真空設(shè)備中的背壓調(diào)節(jié)

  • 高精度流量控制系統(tǒng)

  • 半導(dǎo)體氣體輸送流程

  • 實驗室或工業(yè)儀器設(shè)備的氣體供應(yīng)控制

憑借其穩(wěn)定的性能和靈活的安裝方式，R600適合用于多種不同領(lǐng)域中對氣體控制提出明確要求的工藝系統(tǒng)。

關(guān)于上海進佳科學(xué)儀器有限公司

上海進佳科學(xué)儀器有限公司致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的實驗與工業(yè)控制設(shè)備解決方案，涵蓋氣體流量控制、真空系統(tǒng)、自動化控制等領(lǐng)域。作為HORIBA堀場產(chǎn)品的授權(quán)合作伙伴，公司長期服務(wù)于半導(dǎo)體、新材料、科研院所等行業(yè)客戶，提供技術(shù)選型支持、定制化服務(wù)與售后保障。歡迎聯(lián)系進佳了解更多產(chǎn)品詳情與行業(yè)解決方案。