HORIBA數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV系列：控制多種液體流量的高性能方案

2025-08-23 17:55

隨著半導(dǎo)體技術(shù)朝向更高密度、更復(fù)雜結(jié)構(gòu)不斷推進(jìn)，液體材料在制程中的應(yīng)用范圍持續(xù)擴(kuò)大，特別是在300nm及以下的晶圓工藝中，對液體流量控制的精度和潔凈度提出了更高要求。HORIBA堀場基于多年流體測量技術(shù)積累，推出LF/LV系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計，專為低沸點、高粘度等復(fù)雜液體場景設(shè)計，滿足現(xiàn)代制造業(yè)對高精度液體輸送與控制的實際需求。

多種工藝兼容的流量計平臺

LF-F與LV-F兩款型號均采用數(shù)字式控制架構(gòu)，支持在冷卻測試方式下對液體流量進(jìn)行精密測量與穩(wěn)定控制。其內(nèi)部采用超潔凈材質(zhì)處理，適配潔凈室環(huán)境，符合RoHS環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，非常適合對工藝安全性和材料潔凈度要求極高的半導(dǎo)體與電子制造業(yè)。

  • LF-F型號：強調(diào)檢測功能，適合流量采集與過程監(jiān)控；

  • LV-F型號：主打控制功能，適用于流量反饋閉環(huán)系統(tǒng)。

二者均支持超低流量等級下的穩(wěn)定操作，適配小劑量液體注入、氣化等復(fù)雜制程需求。

精準(zhǔn)應(yīng)對低沸點與高粘度液體的挑戰(zhàn)

在傳統(tǒng)流量計難以精準(zhǔn)控制的液體類型中，HORIBA LF/LV系列展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢：

  • 能夠精確檢測與控制高粘度液體，在傳統(tǒng)流量方案中難以實現(xiàn)的場景下依舊表現(xiàn)穩(wěn)定；

  • 適用于低沸點液體，保障在較低溫條件下的氣化及注入效率；

  • 內(nèi)部流體路徑經(jīng)過特殊優(yōu)化，有效降低對液體性質(zhì)變化的敏感度。

這使得LF/LV系列在半導(dǎo)體、OLED、化學(xué)氣相沉積、電子化學(xué)品輸送等場景中得到廣泛應(yīng)用。

抗壓設(shè)計與超潔凈結(jié)構(gòu)，保障設(shè)備運行安全

流體系統(tǒng)的穩(wěn)定運行離不開對極端條件的適應(yīng)能力。該系列具備優(yōu)良的機械強度與抗壓能力：

  • LF-F抗壓性能高達(dá)10MPa，適配高壓供液系統(tǒng)；

  • LV-F抗壓能力為1MPa，適用于中等壓力的穩(wěn)定控制場景；

  • 所有型號均采用超潔凈通道與嚴(yán)選材質(zhì)，防止顆粒污染與金屬析出。

這些特點大幅降低制程污染風(fēng)險，同時延長設(shè)備維護(hù)周期，提升工藝良率。

應(yīng)用于完整液體源汽化系統(tǒng)，適配自動化產(chǎn)線

HORIBA不僅提供單一流量計產(chǎn)品，更構(gòu)建起完整的液體源汽化控制系統(tǒng)（LIQUID SYSTEM），包括：

  • 加熱蒸發(fā)系統(tǒng)：適用于熱敏感材料氣化；

  • 直接注入系統(tǒng)：簡化控制流程，適配閉環(huán)反饋；

  • 混合注入方式：多種液體同時輸送，提高制程效率。

LF/LV數(shù)字式液體質(zhì)量流量計作為核心組件，保障流量調(diào)節(jié)的實時性與穩(wěn)定性，配合自動供液裝置，可顯著減少人工操作，提升產(chǎn)線自動化水平。

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