日本HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500：半導體制程中的精密流控核心
HORIBA SEC-Z500 系列質量流量計是專為芯片級半導體制程工藝而設計的高性能流量測量與控制設備。其設計高度集成溫度補償、數字校準、內部結構優化和高靈敏度傳感器等先進技術，滿足芯片制造領域對流量控制穩定性、響應速度和系統一致性的嚴苛要求。
專為芯片級制程打造的高精度流量控制平臺
在現代半導體工藝中，工藝氣體流量的控制精度直接影響成品良率與工藝一致性。SEC-Z500 系列在流量測量與調控方面做出系統級優化：
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傳感器系統采用內置溫度補償電路，顯著降低由于摩爾比熱差異造成的誤差；
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通過多項式數學建模對氣體流量進行精細修正，確保輸出與設定流量高度一致；
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支持通過Data Server更新傳感器參數庫，持續提升測量精度與運行穩定性；
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對N?與實際工藝氣體的特性進行數據庫歸檔，進一步優化輸出線性與響應動態。
流路與旁路結構全面升級，縮小理論與實際差距
為解決流量控制中“理論設定值與實際輸出值”的偏差問題，SEC-Z500從微觀結構層面進行了深度優化：
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旁路模塊（Bypass） 采用高精密加工技術，并通過與不同規格傳感器精密匹配，實現流量比固定與一致化；
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流路系統（Flow Path） 經鏡面級內部表面拋光處理，最大程度減少流動阻力與氣體附著，降低響應偏差；
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內置PIEZO壓電閥門，結構簡單、無額外熱源干擾，在動態流控過程中具備出色的穩定性與重復性。
數字化PCB控制架構，適配高標準工業場景
SEC-Z500 系列在控制電路方面，采用了高度集成化的數字控制板卡：
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實現全數字化調節與校準，減少因機械部件老化或誤差帶來的不確定性；
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精簡電位器數量，消除回差（Backlash）帶來的誤動作風險；
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配套校準工具支持MolBlock法定量調流校準，確保高精度輸出的同時優化運維效率。
SEC-Z500與SEC-N100協同覆蓋芯片與非芯片工藝
在HORIBA產品體系中，SEC-Z500 專注于芯片級半導體制程，而SEC-N100 則專為 非芯片半導體工藝場景定制。兩者相輔相成，覆蓋了當前半導體工藝體系中幾乎所有氣體流量控制需求。無論是超潔凈制程環境下的精密控制，還是功能玻璃、光伏、電池材料等非芯片行業的多氣體調節，HORIBA的流控系統均提供一致化的接口標準與控制精度。
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