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1.在80PSI的氮?dú)饪僧a(chǎn)生500torr(66.7mbar)的真空
2.經(jīng)過超聲波和去離子水清洗保證其高純的要求
3.清洗、焊接、組裝、測(cè)試、包裝均在100和10級(jí)的請(qǐng)清潔室內(nèi)完成
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