HORIBA堀場壓力不敏感型數字式質量流量控制器 SEC-Z700S

2025-08-29 17:33

HORIBA堀場壓力不敏感型數字式質量流量控制器 SEC-Z700S 是一款超速響應型 MFC（Mass Flow Controller），延續了 HORIBA STEC 半個世紀以來在質量流量計和流體控制技術上的深厚積累。該系列產品特別適用于對精度、響應速度及穩定性要求極高的工業和科研應用，廣泛服務于半導體、新材料、光電子等高端領域。

SEC-Z700S產品詳情

SEC-Z700S 屬于壓力不敏感型數字式質量流量控制器。其在應對供氣壓力波動時仍能保持穩定、精確的流量控制能力，尤其適合應用于對氣體供應波動敏感的先進工藝。相比傳統 MFC，SEC-Z700S 在精度、響應速度和通訊能力方面均有大幅提升。

SEC-Z700S核心特點

  • 壓力非敏感型
    在氣體壓力變化的情況下，依然保持精準流量控制。

  • 可變控制模式
    搭載可變控制模式，靈活適配多種工藝需求。

  • 多種顯示方式
    提供直觀的數字化和本地顯示方式，便于監測與調節。

  • 兼容多氣體與多量程
    一機支持多種氣體和量程，降低設備更換與校準成本。

  • 高精度 & 高速響應
    精度高，響應時間快，滿足尖端工藝對穩定性和一致性的要求。

  • 超高速 EtherCAT® 通訊方式
    響應速度快至 450ms ± 30ms，極大提升工藝效率。

  • 控制范圍廣
    可滿足從低流量到高流量的多種應用需求。

  • 應用哈氏合金
    采用高耐腐蝕材質，適應復雜及腐蝕性氣體環境。

SEC-Z700S應用領域

  • 半導體生產工藝

  • 高端材料研發與制備

  • 光電子與新能源產業

  • 精密科研實驗室氣體控制

  • 高速響應與高精度控制工藝

上海進佳科學儀器有限公司長期供應 HORIBA堀場壓力不敏感型數字式質量流量控制器 SEC-Z700S 及相關配套產品，并提供專業的選型指導、應用方案及完善的售后服務，致力于為客戶打造高效、穩定、精準的流體控制解決方案。