HORIBA QL系列微孔系統

2025-08-27 17:30

HORIBA QL系列微孔系統產品簡介

HORIBA QL系列微孔系統基于四極桿質量分析儀 MICROPOLE 技術，是目前尺寸極為緊湊的質譜儀系統之一。其獨特的設計不僅使安裝更為方便，還能滿足多種腔室表征應用的需求。四極桿質量過濾器微型陣列結構，讓該系統能夠在高于傳統系統的壓力下運行，從而減少了對額外差動泵送設備的依賴。

HORIBA QL系列微孔系統產品特點

  • 緊湊輕巧
    體積極小，重量輕盈，與傳統殘余氣體分析儀相比，體積縮小至 1/20，更容易集成到不同設備系統中。

  • 高性能檢測
    配備 9 個四極桿迷你陣列，在小巧的體積下實現優異靈敏度，保證檢測精度與可靠性。

  • 高壓操作能力
    可在高達 0.9Pa（7mTorr，9×10?³mbar）的壓力下使用，減少甚至消除了許多應用場景中對昂貴真空泵的需求。

  • 模塊化傳感器設計
    校準后的可互換傳感器頭，用戶可在現場快速更換，無需額外技術調整，大幅提升操作便利性。

HORIBA QL系列微孔系統軟件與系統集成

  • 網絡化管理
    通過 RS-485 接口，一臺 PC 可同時監控多達 8 個傳感器；同時支持外部 I/O 接口，實現無需 PC 的掃描操作。

  • 用戶友好型軟件
    配套的 Micropole Scanner™2 軟件，提供趨勢圖、光譜圖、條形圖等多種監測模式，幫助用戶更直觀地掌握氣體分壓變化。

上海進佳科學儀器有限公司長期供應 HORIBA QL系列微孔系統，并為科研院所、半導體及工業應用客戶提供選型咨詢與售后支持，助力用戶實現高效的殘余氣體分析與真空環境監測。